电子级磷酸是微电子工业中使用的一种超高纯度的磷酸，主要用于集成线路板的清洗、二极管专用试剂、液晶显示器的清洗与蚀刻以及芯片的蚀刻等，是重要的微电子工业化学品之一。和亚磷酸，次磷酸的磷化合价不同。通常所说的电子级磷酸多指液晶显示器和芯片生产用的电子级磷酸，其质量要求*高。随着超大规模集成电路(IC)和薄膜液晶显示器(TFT-LCD)的推广和应用，电子级磷酸市场需求量以每年两位数的速率增长，年增长率近20%，电子化学品市场销售额预计超过 80亿美元。

电子级磷酸的制备可由高纯元素磷或磷的氧化物经化学反应制取，也可由热法磷酸或湿法磷酸经精制净化制得。目前电子级磷酸的制备方法主要有:高纯黄磷(或赤磷)化法，热法磷酸(或净化湿法磷酸)结晶精制法，五化二磷水合法，三氯磷水解法，磷酸三酯水解法等。制备的核心是控制微量杂质的含量，以满足微电子工业的需要，因此，现代磷化工技术和应用精制净化技术是关键。电子级磷酸较成熟的制备方法是先生产出低杂质磷酸，然后采用化学精制，而结晶净化和超滤净化是电子级磷酸精制技术发展的重要方向。

电子级磷酸属磷化工高端垄断产品，目前世界上只有少数几家大公司能够生产，如日本化学工业公司(Nippon Chemical Industrial Co.Ltd)和罗莎(ROSA)公司、德国EMerck 公司、美国J.T.Baker 公司、韩国东方公司等。国内有一些单位和企业厂家研究开发和规划发展电子级磷酸，迄今多属“准电子级磷酸”。目前只有少数厂家建成了工业规模的生产装置，产品即将投放市场。部分化工集团采用湿法磷酸净化制备电子级磷酸，这也是一项重大的技术创新和进步。